1. Lasertunnistuspää ja näytteen skannausvaihe integroidaan, rakenne on erittäin stabiili ja interferenssin vastainen on vahva
2. Proborin sijoituslaite, laserpisteen kohdistuksen säätö on erittäin helppoa
3.Single-akselin käyttönäyte lähestyy automaattisesti koetinta pystysuunnassa siten, että neulakärki on kohtisuorassa näytteen skannaukseen nähden
4. Älykäs neulan ruokintamenetelmä moottorikontrolloidun paineistetun pietsosähköisen keraamisen automaattisen havaitsemisen suhteen suojaa koetinta ja näytettä
5.Automaattinen optinen paikannus, ei tarvitse keskittyä, reaaliaikainen tarkkailu ja koettimen näytteen skannausalueen sijainti
6.Kirrajousituskokouksenkestävä menetelmä, yksinkertainen ja käytännöllinen, hyvä iskunkestävä vaikutus
7 7
8. Integroitu skannerin epälineaarinen korjaus Käyttäjäeditori, nanometrin karakterisointi ja mittaustarkkuus paremmin kuin 98%
| Käyttötila | Kosketustila, napauta tila |
| Valinnainen tila | Kitka/lateraalinen voima, amplitudi/faasi, magneettinen/sähköstaattinen voima |
| voima spektrikäyrä | FZ-voimakäyrä, RMS-Z-käyrä |
| XY -skannausalue | 20*20um, valinnainen 50*50um, 100*100um |
| Z -skannausalue | 2,5um, valinnainen 5um, 10um |
| Skannausresoluutio | Vaaka 0,2 nm, pystysuuntainen 0,05 nm |
| Otoskoko | Φ≤90 mm, h≤20 mm |
| Näytevaiheen matka | 15*15 mm |
| Optinen havainto | 4x optinen objektiivilinssi/2,5um tarkkuus |
| Skannausnopeus | 0,6Hz-30Hz |
| Skannauskulma | 0-360 ° |
| Toimintaympäristö | Windows XP/7/8/10 käyttöjärjestelmä |
| Viestintärajapinta | USB2.0/3.0 |
| Iskunvaimennussuunnittelu | Jousijousitettu/metallisuojattu laatikko |
